的跑驚時(shí)時(shí),，真空室內(nèi)殘余氣體分子中，燕氣分子的平均自由程大于蒸發(fā)展與基片的距寒時(shí),，就會(huì)獲得充分的便服條件,。因此，把真空室抽成兩其空,，頂少現(xiàn)示氣體的分子數(shù),、增大殘余氣體分子的平均自由程，使得蒸氣分子與殘余氣體分子的碰撞機(jī)會(huì)減少,，這是非常必要的,。

　　當(dāng)真空度提高時(shí)，蒸氣分子從蒸發(fā)源到基片的過(guò)程中,，與殘余分子碰撞的概率下降,。因此，真空鍍鋁時(shí)在6X 10-2Pa以上能形成良好的膜層,。當(dāng)真空度低時(shí),，會(huì)出現(xiàn)下述兩種情況:

　?、倩砻嫖街S多殘余氣體分子,，當(dāng)蒸發(fā)材料的蒸氣分子到達(dá)基片之后，在基片表面殘余氣體分子與蒸發(fā)材料的蒸氣分子將產(chǎn)生化合作用,，所形成的化合物影響膜的質(zhì)量,。

　　②蒸發(fā)材料的蒸氣分子到達(dá)基片表面的過(guò)程中與殘余氣體分子發(fā)生碰撞的概率增加,，使得蒸發(fā)材料蒸氣分子消耗大量的動(dòng)能,，以致達(dá)不到基片表面，即使到達(dá)基片表面,，其吸附性能也會(huì)大大降低,。因此膜層松散無(wú)力，嚴(yán)重時(shí)出現(xiàn)粉末狀的附著,，一擦即脫落,。在實(shí)際生產(chǎn)中觀察到,，真空室的真空度低于10--Pa時(shí)，鋁膜呈灰色,，其附著力降低,，當(dāng)真空度更低時(shí)，鋁膜呈黑色,，附著力很低,。